SPHERICAL DRILLING - A NEW METHOD FOR MEASUREMENT OF JUNCTION DEPTHS IN SEMICONDUCTOR DEVICES

被引：7

作者：

LAGNADO, I

POLCARI, SM

机构：

来源：

SOLID-STATE ELECTRONICS | 1967年 / 10卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1016/0038-1101(67)90064-0

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：1219 / &

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