SUPERIOR ALUMINUM FOR INTERCONNECTIONS OF INTEGRATED CIRCUITS

被引：23

作者：

BHATT, HJ

机构：

来源：

APPLIED PHYSICS LETTERS | 1971年 / 19卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1653810

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：30 / &

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