ORIENTATION DEPENDENCE OF BORON DIFFUSION

被引：15

作者：

OKAMURA, M

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1970年 / 9卷 / 07期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.9.848

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：848 / &

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