THERMAL-OXIDATION OF GAAS

被引：23

作者：

KOSHIGA, F ^{[1
]}

SUGANO, T ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV TOKYO,FAC ENGN,DEPT ELECTR ENGN,BUNKYO KU,TOKYO 113,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.7567/JJAPS.16S1.465

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：465 / 469

页数：5

共 5 条

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