POSITIVE PHOTORESIST STRIPPING BY PLASMA BARREL

被引：1

作者：

CABRUJA, E

CANE, C

LOZANO, M

DOMINGUEZ, C

SERRAMESTRES, F

LORATAMAYO, E

机构：

来源：

VACUUM | 1989年 / 39卷 / 7-8期

关键词：

D O I：

10.1016/0042-207X(89)90031-6

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：757 / 759

页数：3

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共 5 条

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