PRECIPITATION OF SI FROM AL METALLIZATION OF INTEGRATED-CIRCUITS

被引：63

作者：

MCCALDIN, JO

SANKUR, H

机构：

来源：

APPLIED PHYSICS LETTERS | 1972年 / 20卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1654096

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

收藏

页码：171 / &

相关论文

共 1 条

[1] DIFFUSIVITY AND SOLUBILITY OF SI IN AL METALLIZATION OF INTEGRATED CIRCUITS [J].

MCCALDIN, JO ;

SANKUR, H .

APPLIED PHYSICS LETTERS, 1971, 19 (12) :524-&