TURBOMOLECULAR PUMPS WITH CORROSION-RESISTANT OIL FOR LUBRICATION AND COOLING OF ROTOR BEARINGS

被引：16

作者：

HENNING, J ^{[1
]}

LOTZ, H ^{[1
]}

机构：

[1] ARTHUR PFEIFFER VAKUUMTECH WETZLAR GMBH,D-6334 ASSLAR,FED REP GER

来源：

VACUUM | 1977年 / 27卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1016/0042-207X(77)90051-3

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

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页码：171 / 173

页数：3

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共 3 条

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