IMPLANTS OF 15-50-MEV BORON IONS INTO SILICON

被引：17

作者：

LAFERLA, A

DIFRANCO, A

RIMINI, E

CIAVOLA, G

FERLA, G

机构：

[1] LAB NAZL SUD,CATANIA,ITALY

[2] SGS THOMSON MICROELECTRON,I-95100 CATANIA,ITALY

来源：

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY | 1989年 / 2卷 / 1-3期

关键词：

D O I：

10.1016/0921-5107(89)90078-0

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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