ALUMINUM SPEARING IN SILICON INTEGRATED-CIRCUITS

被引：13

作者：

PRICE, TE ^{[1
]}

BERTHOUD, LA ^{[1
]}

机构：

[1] ROBERT GORDONS INST TECHNOL,ABERDEEN AB9 1FR,SCOTLAND

来源：

SOLID-STATE ELECTRONICS | 1973年 / 16卷 / 11期

关键词：

D O I：

10.1016/0038-1101(73)90088-9

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：1303 / 1304

页数：2

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共 2 条

[1] MCCALDIN JO, 1972, APPL PHYS LETTS, V20
[2] SCHNABLE GL, 1967, 6 ANN REL PHYS S LOS, P170