MATRIX EFFECT IN SIMS ANALYSIS USING AN O2+ PRIMARY BEAM

被引：28

作者：

YU, ML

REUTER, W

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1980年 / 17卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.570390

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：36 / 39

页数：4

共 9 条

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