DEPENDENCE OF ELECTROMIGRATION-INDUCED FAILURE TIME ON LENGTH AND WIDTH OF ALUMINUM THIN-FILM CONDUCTORS

被引:78
作者
AGARWALA, BN
ATTARDO, MJ
INGRAHAM, AP
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1658395
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:3954 / &
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