MEASUREMENT OF THICKNESS AND REFRACTIVE INDEX OF OXIDE FILMS ON SILICON

被引：33

作者：

BOOKER, GR

BENJAMIN, CE

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2425277

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：1206 / 1212

页数：7

共 4 条

[1] OPTICAL STUDIES OF SPIRALS ON SYNTHETIC QUARTZ CRYSTALS [J].

JOSHI, MS ;

TOLANSKY, S .

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