EPITAXIAL-GROWTH OF A METAL(COSI2) INSULATOR(CAF2) NANOMETER-THICK HETEROSTRUCTURE AND ITS APPLICATION TO QUANTUM-EFFECT DEVICES

被引:6
作者
ASADA, M
WATANABE, M
SUEMASU, T
KOHNO, Y
SAITOH, W
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1995年 / 13卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.579796
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
收藏
页码:623 / 628
页数:6
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