SPUTTERING OF CU AND ZN ATOMS FROM ELEMENTAL AND ALLOY TARGETS

被引：27

作者：

SZYMONSKI, M

机构：

来源：

APPLIED PHYSICS | 1980年 / 23卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1007/BF00899575

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：89 / 92

页数：4

共 17 条

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