CATHODIC DEPOSITION OF AMORPHOUS-SILICON FROM TETRAETHYLORTHOSILICATE IN ORGANIC-SOLVENTS

被引：26

作者：

TAKEDA, Y ^{[1
]}

KANNO, R ^{[1
]}

YAMAMOTO, O ^{[1
]}

MOHAN, TRR ^{[1
]}

LEE, CH ^{[1
]}

KROGER, FA ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV SO CALIF,DEPT MAT SCI,LOS ANGELES,CA 90007

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2127597

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：1221 / 1224

页数：4

共 9 条

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