EXPERIMENTAL-DETERMINATION OF FINITE INVERSION LAYER THICKNESS IN THIN GATE OXIDE MOSFETS

被引：19

作者：

TORIUMI, A ^{[1
]}

YOSHIMI, M ^{[1
]}

IWASE, M ^{[1
]}

TANIGUCHI, K ^{[1
]}

HAMAGUCHI, C ^{[1
]}

机构：

[1] OSAKA UNIV,DEPT ELECTR,SUITA,OSAKA 565,JAPAN

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0039-6028(86)90988-X

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：363 / 369

页数：7