MOLECULAR-DYNAMICS STUDIES OF THE GROWTH MODES AND STRUCTURE OF AMORPHOUS-SILICON FILMS VIA ATOM DEPOSITION

被引:58
作者
LUEDTKE, WD
LANDMAN, U
机构
来源
PHYSICAL REVIEW B | 1989年 / 40卷 / 17期
关键词
D O I
10.1103/PhysRevB.40.11733
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:11733 / 11746
页数:14
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