NEW MASS-SELECTIVE EVAPORATION RATE MONITOR

被引：3

作者：

GENEQUAN.P ^{[1
]}

机构：

[1] BATTELLE RES CTR, GENEVA, SWITZERLAND

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1974年 / 11卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1318620

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：357 / 360

页数：4