SELF-MODULATING ION GAUGE

被引：9

作者：

EDWARDS, D

LANNI, C

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1980年 / 17卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.570386

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：355 / 356

页数：2

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共 2 条

[1]

REDHEAD PA, 1968, PHYSICAL BASIS ULTRA

[2]

SCHUETZE HJ, 1962, T AM VAC SOC, P431