STRUCTURE AND THERMAL-STABILITY OF SPUTTERED AU-TA FILMS

被引:20
作者
CHRISTOU, A [1 ]
DAY, H [1 ]
机构
[1] USN, RES LAB, WASHINGTON, DC 20375 USA
关键词
D O I
10.1063/1.1662771
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:3386 / 3393
页数:8
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