ABSTRACT - ORGANIC POLYMER-FILMS FORMED IN AN RF DISCHARGE WITH APPLICATIONS FOR INTEGRATED OPTICS

被引：5

作者：

SMOLINSK.G ^{[1
]}

机构：

[1] BELL TEL LABS INC, MURRAY HILL, NJ 07974 USA

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1974年 / 11卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1318613

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：33 / 33

页数：1

共 6 条

[1]

SMOLINSKY G, TO BE PUBLISHED

THOMPSON, LF ;

SMOLINSK.G .

[3] THIN ORGANOSILICON FILMS FOR INTEGRATED OPTICS [J].

TIEN, PK ;

SMOLINSKY, G ;

MARTIN, RJ .

TIEN, PK ;

MARTIN, RJ ;

SMOLINSK.G .

APPLIED OPTICS, 1973, 12 (08) :1909-1916

VASILE, MJ ;

SMOLINSK.G .

[6]

VASILE MJ, TO BE PUBLISHED