DUPLEX REACTIVE FLUOROCARBON FILMS WITH SPIN-OFF RESISTANT CHARACTERISTICS

被引：19

作者：

BARLOW, M

BRAITBERG, M

DAVIS, L

DUNN, V

FREW, D

机构：

来源：

IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS | 1987年 / 23卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1109/TMAG.1987.1064802

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：33 / 35

页数：3

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