MORPHOLOGICAL DEGRADATION OF TISI2 ON (100)SILICON

被引:44
作者
REVESZ, P [1 ]
ZHENG, LR [1 ]
HUNG, LS [1 ]
MAYER, JW [1 ]
机构
[1] CORNELL UNIV,DEPT MAT SCI,ITHACA,NY 14853
关键词
D O I
10.1063/1.96826
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:1591 / 1593
页数:3
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