EARLY STAGES OF PLASMA SYNTHESIS OF DIAMOND FILMS

被引:76
作者
MEILUNAS, R
WONG, MS
SHENG, KC
CHANG, RPH
VANDUYNE, RP
机构
关键词
D O I
10.1063/1.101124
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:2204 / 2206
页数:3
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