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FABRICATION OF SUBMICRON GRATING PATTERNS USINC COMPOSITIONAL DISORDERING OF ALGAAS-GAAS SUPERLATTICES BY FOCUSED SI ION-BEAM IMPLANTATION
被引：10
作者：
ISHIDA, K
MIYAUCHI, E
MORITA, T
TAKAMORI, T
FUKUNAGA, T
HASHIMOTO, H
NAKASHIMA, H
机构：
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS
|
1987年
/
26卷
/
04期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.26.L285
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：L285 / L287
页数：3
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