AREAL DENSITIES OF STRESS PRODUCING FILMS MEASURED BY QUARTZ CRYSTAL MICROBALANCE

被引：5

作者：

MUELLER, RM

WHITE, W

机构：

来源：

REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1969年 / 40卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1683897

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：1646 / &

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共 4 条

[1] MUELLER RM, 1969, REV SCI INSTRUM, V39, P291
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