THERMAL OXIDATION AND ELECTROLYTIC ETCHING OF SILICON-CARBIDE

被引：63

作者：

MUNCH, WV ^{[1
]}

PFAFFENEDER, I ^{[1
]}

机构：

[1] TECH UNIV HANOVER,INST WERKSTOFFKUNDE A,D-3 HANOVER,FED REP GER

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1975年 / 122卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2134280

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：642 / 643

页数：2

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共 4 条

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