ELECTRON BEAM WRITING OF SPATIAL FILTERS

被引：4

作者：

WIEDER, H

POLE, RV

HEIDRICH, PF

机构：

来源：

IBM JOURNAL OF RESEARCH AND DEVELOPMENT | 1969年 / 13卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1147/rd.132.0169

中图分类号：

TP3 [计算技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

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页码：169 / &

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共 1 条

[1] ARDENNE MV, 1939, Patent No. 2276359