REACTIVELY SPUTTERED TITANIUM RESISTORS CAPACITORS AND RECTIFIERS FOR MICROCIRCUITS

被引：22

作者：

WASA, K

HAYAKAWA, S

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0026-2714(67)90262-4

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：213 / &

共 12 条

[1]

DUSHMAN S, 1958, SCI F VACUUM TECHNIQ, P17

[2]

FREUERSAUGAR AE, 1965, P IEEE, V52, P1463

[3]

Gerstenberg D., 1963, ANN PHYSIK, V11, P354

[4]

HOLLAND L, 1956, VACUUM DEPOSITION TH, P457

[5]

Huber F., 1965, MICROELECTRON RELIAB, V4, P283

[6]

KEISTER FZ, 1965, IEEE T COMPONENT PAR, VCP12, P16

[7]

KOMOLOVA TI, 1962, SOV PHYS-SOL STATE, V3, P2469

[8]

LAKSHMANAN TK, 1964, IEEE COMP PARTS, VCP11, P14

[9]

LLOYD P, 1965, BR COMMUN ELECTRON, V12, P363

[10] COMPOUND BARRIERS IN THIN FILM TIO2 DIODES [J].

MAGILL, PJ .