DIAGNOSTIC-TEST FOR ION-IMPLANTATION DOSIMETRY

被引：5

作者：

MATTESON, S

TONN, DG

NICOLET, MA

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1979年 / 16卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.570106

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：882 / 883

页数：2

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共 4 条

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