EVIDENCE OF HOLE INJECTION AND TRAPPING IN SILICON NITRIDE FILMS PREPARED BY REACTIVE SPUTTERING

被引:93
作者
HU, SM
KERR, DR
GREGOR, LV
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1754868
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:97 / &
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共 3 条
  • [1] Frenkel J, 1938, PHYS REV, V54, P647, DOI 10.1103/PhysRev.54.647
  • [2] HU SM, 1966, OCT EL SOC M DIEL DI
  • [3] SZEDON JR, 1966, JUN IEEE SOL STAT DE