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EVIDENCE OF HOLE INJECTION AND TRAPPING IN SILICON NITRIDE FILMS PREPARED BY REACTIVE SPUTTERING
被引:93
作者
:
HU, SM
论文数:
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0
HU, SM
KERR, DR
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KERR, DR
GREGOR, LV
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GREGOR, LV
机构
:
来源
:
APPLIED PHYSICS LETTERS
|
1967年
/ 10卷
/ 03期
关键词
:
D O I
:
10.1063/1.1754868
中图分类号
:
O59 [应用物理学];
学科分类号
:
摘要
:
引用
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页码:97 / &
相关论文
共 3 条
[1]
Frenkel J, 1938, PHYS REV, V54, P647, DOI 10.1103/PhysRev.54.647
[2]
HU SM, 1966, OCT EL SOC M DIEL DI
[3]
SZEDON JR, 1966, JUN IEEE SOL STAT DE
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[1]
Frenkel J, 1938, PHYS REV, V54, P647, DOI 10.1103/PhysRev.54.647
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HU SM, 1966, OCT EL SOC M DIEL DI
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SZEDON JR, 1966, JUN IEEE SOL STAT DE
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