ISOLATION OF ULTRAHIGH VACUUM SYSTEMS FROM OIL DIFFUSION PUMPS

被引：4

作者：

GRETZ, RD

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1968年 / 5卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1492577

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：49 / &

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共 9 条

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