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LOW-TEMPERATURE GROWTH OF TRANSPARENT AND CONDUCTING TIN OXIDE FILM BY PHOTOCHEMICAL VAPOR-DEPOSITION
被引：15
作者：
TABUCHI, T
YAMAGISHI, K
TARUI, Y
机构：
来源：
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS
|
1987年
/
26卷
/
03期
关键词：
D O I：
10.1143/JJAP.26.L186
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：L186 / L189
页数：4
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