ANTIPHASE DEFECT REDUCTION-MECHANISM IN MBE GROWN GAAS ON SI

被引:3
作者
SHIRAISHI, T
AJISAWA, H
YOKOYAMA, S
KAWABE, M
机构
来源
CHEMISTRY AND DEFECTS IN SEMICONDUCTOR HETEROSTRUCTURES | 1989年 / 148卷
关键词
D O I
10.1557/PROC-148-261
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:261 / 266
页数:6
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