UTILIZATION OF RUTHERFORD BACKSCATTER SPECTROSCOPY FOR THE DETERMINATION OF THIN-FILM DENSITIES

被引：6

作者：

SIMONS, DG

CROWE, CR

BROWN, MD

机构：

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1982年 / 53卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1063/1.331095

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：3900 / 3902

页数：3

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