TOPOGRAFINER - INSTRUMENT FOR MEASURING SURFACE MICROTOPOGRAPHY

被引:209
作者
YOUNG, R
WARD, J
SCIRE, F
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1685846
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
引用
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