STATISTICAL RANGE DISTRIBUTION OF IONS IN SINGLE AND MULTIPLE ELEMENT SUBSTRATES

被引:13
作者
JOHNSON, WS
GIBBONS, JF
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1754768
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:321 / &
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