ELIMINATION OF THE FLUX TRANSIENTS FROM MOLECULAR-BEAM EPITAXY SOURCE CELLS FOLLOWING SHUTTER OPERATION

被引:14
作者
CHILTON, PA
TRUSCOTT, WS
WEN, YF
机构
[1] UNIV MANCHESTER,INST SCI & TECHNOL,JOINT LAB PHYS & ELECT ENGN,MANCHESTER M60 1QD,LANCS,ENGLAND
[2] UNIV MANCHESTER,INST SCI & TECHNOL,DEPT ELECT ENGN & ELECTR,MANCHESTER M60 1QD,LANCS,ENGLAND
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1988年 / 6卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.584304
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
收藏
页码:1099 / 1104
页数:6
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