A STUDY OF ELECTRON PENETRATION IN SOLIDS USING A DIRECT MONTE-CARLO APPROACH

被引:69
作者
ADESIDA, I
SHIMIZU, R
EVERHART, TE
机构
[1] UNIV CALIF BERKELEY,ELECTR RES LAB,BERKELEY,CA 94720
[2] UNIV CALIF BERKELEY,DEPT ELECT ENGN,BERKELEY,CA 94720
关键词
D O I
10.1063/1.327515
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:5962 / 5969
页数:8
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