SPUTTER-DEPOSITED FILMS FOR DISPLAY DEVICES

被引:9
作者
FRASER, DB [1 ]
机构
[1] BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(72)90313-6
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:407 / 412
页数:6
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