METALORGANIC CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF [100] TEXTURED MGO THIN-FILMS

被引:71
作者
KWAK, BS
BOYD, EP
ZHANG, K
ERBIL, A
WILKINS, B
机构
[1] GEORGIA INST TECHNOL,SCH PHYS,ATLANTA,GA 30332
[2] BELL COMMUN RES INC,RED BANK,NJ 07701
关键词
D O I
10.1063/1.101044
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:2542 / 2544
页数:3
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