CATHODOLUMINESCENCE OBSERVATION OF SIO2 LAYERS IN A SEMICONDUCTOR-DEVICE

被引:6
作者
KOYAMA, H
机构
关键词
D O I
10.1063/1.327868
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:2304 / 2305
页数:2
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共 1 条
[1]  
KOYAMA H, 1980, J APPL PHYS, V51, pR40