SOI SOI BULK-SI TRIPLE-LEVEL STRUCTURE FOR 3-DIMENSIONAL DEVICES

被引：18

作者：

SUGAHARA, K

NISHIMURA, T

KUSUNOKI, S

AKASAKA, Y

NAKATA, H

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/EDL.1986.26341

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：193 / 195

页数：3

共 6 条

[1]

AKASAKA Y, 1983 S VLSI, P48

COLINGE, JP ;

DEMOULIN, E ;

BENSAHEL, D ;

AUVERT, G .

[3] A HIGH-DENSITY CMOS INVERTER WITH STACKED TRANSISTORS [J].

COLINGE, JP ;

DEMOULIN, E .

ELECTRON DEVICE LETTERS, 1981, 2 (10) :250-251

[4] ONE-GATE-WIDE CMOS INVERTER ON LASER-RECRYSTALLIZED POLYSILICON [J].

GIBBONS, JF ;

LEE, KF .

ELECTRON DEVICE LETTERS, 1980, 1 (06) :117-118

[5]

HIROSE S, 1985 P S VLSI KOB, P34

[6]

NISHIMURA T, 1984, 16TH C SOL STAT DEV, P527