TOWARDS AMORPHIZATION OF INDIUM BY ION-IMPLANTATION

被引:11
作者
HEIM, G
BAURIEDL, W
BUCKEL, W
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-3115(78)90411-7
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页数:7
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