AUTOMATIC CRYSTAL DRAWER FOR CZOCHRALSKI METHOD

被引：10

作者：

MATEIKA, D ^{[1
]}

FLISIKOWSKI, P ^{[1
]}

KOHLER, H ^{[1
]}

KILIAN, R ^{[1
]}

机构：

[1] PHILIPS FORSCHUNGSLAB HAMBURG GMBH,D-2000 HAMBURG 54,FED REP GER

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-0248(77)90054-9

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

引用

页码：262 / 274

页数：13

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共 4 条

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