ROLE OF ADSORPTION LAYER IN CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引：2

作者：

GIVARGIZOV, EI

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0022-0248(81)90193-7

中图分类号：

O7 [晶体学];

学科分类号：

0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;

摘要：

引用

页码：194 / 198

页数：5

共 14 条

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