PROPERTIES OF SUPERCONDUCTING ZRN THIN-FILMS DEPOSITED BY DC REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING

被引：20

作者：

TANABE, K

ASANO, H

KATOH, Y

MICHIKAMI, O

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS | 1987年 / 26卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.26.L570

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：L570 / L572

页数：3