CONTAMINATION OF CDS HETEROEPITAXIAL LAYERS DURING VAPOR GROWTH ON GAAS SUBSTRATES

被引:13
作者
MOULIN, M
DUGUE, M
HUBER, A
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-0248(72)90249-7
中图分类号
O7 [晶体学];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
摘要
引用
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页码:212 / &
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