PREPARATION AND CORROSION PROPERTIES OF A TANTALUM SPUTTERED THICK-FILM

被引：2

作者：

KASHU, S

HAYASHI, C

SANO, T

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1972年 / 9卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1317048

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1399 / &

相关论文

共 5 条

[1]

FONTANA MG, 1952, IND ENG CHEM, V44, pA71

GOLDEN, LB ;

LANE, IR ;

ACHERMAN, WL .

INDUSTRIAL AND ENGINEERING CHEMISTRY, 1952, 44 (08) :1930-1939

[3]

HAMPEL CA, 1961, RARE METALS HANDBOOK, P469

[4]

MEYERS PG, 1966, T VAC MET C NEW YORK, P271

[5]

Smith H.R., 1965, T VACUUM METALLURGY, P227