A NEW VLSI COMPATIBLE RAPID THERMAL-PROCESSING SYSTEM

被引：5

作者：

AITKEN, D

MEHTA, S

PARISI, N

RUSSO, CJ

SCHWARTZ, V

机构：

来源：

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS | 1987年 / 21卷 / 2-4期

关键词：

D O I：

10.1016/0168-583X(87)90923-2

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

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页码：622 / 626

页数：5

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共 3 条

[1]

MEHTA S, 1986, JAN SPIE C P LOS ANG

[2]

RUSSO CJ, 1986, JAN SPIE C P LOS ANG

[3]

SHEETS RE, 1985, FAL P S MAT RES SOC, V52